基于石墨电极的硅基金刚石日盲紫外探测器OA北大核心CSTPCD
Diamond Solar Blind UV Detectors on Si Substrates with Graphite Electrodes
金刚石优异的材料特性使其在日盲紫外探测领域有很大的应用潜力.本文采用微波等离子体化学气相沉积设备在(111)晶面单晶硅衬底上沉积金刚石薄膜,并基于该薄膜采用光刻胶热解法制备石墨材料平面叉指电极MSM结构金刚石日盲紫外探测器,为全碳金刚石探测器的实现提供了新方法.结果表明,该硅基金刚石薄膜为高取向多晶薄膜,(111)晶面的XRD 2θ扫描半峰宽为 0.093°,拉曼光谱金刚石特征峰峰位 1 332 cm-1,半峰宽为4 cm-1,薄膜晶体质量较高;…查看全部>>
The excellent properties of diamond make it a great application potential in the field of solar blind ultra-violet detection.In this paper,heteroepitaxial diamond films were grown on(111)monocrystalline Si substrates by microwave plasma chemical vapor deposition(MPCVD)and the metal-semiconductor-metal(MSM)structure dia-mond solar blind UV detectors with planar interdigital graphite electrode prepared by pyrolytic photoresist method were produced.The results …查看全部>>
王增将;王孝秋;朱剑锋;任檬檬;吴国光;张宝林;邓高强;董鑫;张源涛
吉林大学电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点实验室,吉林 长春 130012吉林大学电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点实验室,吉林 长春 130012吉林大学电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点实验室,吉林 长春 130012吉林大学电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点实验室,吉林 长春 130012吉林大学电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点实验室,吉林 长春 130012吉林大学电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点实验室,吉林 长春 130012吉林大学电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点实验室,吉林 长春 130012吉林大学电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点实验室,吉林 长春 130012吉林大学电子科学与工程学院 集成光电子学国家重点实验室,吉林 长春 130012
电子信息工程
金刚石薄膜石墨电极日盲紫外探测器
diamond filmsgraphite electrodessolar blind ultraviolet detectors
《发光学报》 2024 (4)
630-636,7
吉林省科技发展计划(20230201047GX,20220101119JC)Supported by The Science and Technology Developing Plan of Jilin Province(20230201047GX,20220101119JC)
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