TOPCon太阳电池背面叠层poly工艺的优化及其对电性能的影响OA
OPTIMIZATION OF BACK STACKING POLY PROCESS AND ITS IMPACT ON ELECTRICAL PERFORMANCE OF TOPCon SOLAR CELLS
通过增加TOPCon太阳电池poly层中的磷掺杂浓度可以增强poly层与硅基底之间的钝化效果并提高poly层与金属电极间的接触能力,但过高的掺杂浓度会导致磷原子扩散到硅基底,破坏氧化层与硅基底之间的界面钝化效果.为了解决这一问题,提出在poly层中间增加一层薄的氧化层作为阻挡层(即叠层poly工艺,下文简称为"叠层工艺")的方案,将原本单一的poly-Si磷掺杂进行双层分布,底层poly-Si轻掺杂,表层poly-Si重掺杂;对常规工艺和叠层工艺…查看全部>>
By increasing the phosphorus doping concentration in the poly layer of TOPCon solar cells,the passivation effect between the poly layer and the silicon substrate can be enhanced,and the metalization contact ability between the poly layer and the metal electrode can be improved.However,excessive doping concentration can cause phosphorus atoms to diffuse to the silicon substrate,disrupting the interface passivation effect between the oxide layer and the silico…查看全部>>
凡金星;刘绍洋;高纪凡
天合合晟能源(上海)有限公司,上海 201105||天合光能股份有限公司光伏科学与技术国家重点实验室,常州 213031天合光能股份有限公司光伏科学与技术国家重点实验室,常州 213031天合合晟能源(上海)有限公司,上海 201105||天合光能股份有限公司光伏科学与技术国家重点实验室,常州 213031
动力与电气工程
TOPCon太阳电池poly层磷掺杂浓度钝化效果
TOPCon solar cellpoly layerphosphorus doping concentrationpassivation effect
《太阳能》 2024 (4)
73-79,7
基础研究计划自然科学基金——青年基金项目(BK20220240)
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