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氢终端金刚石薄膜生长及其表面结构

马孟宇 蔚翠 何泽召 郭建超 刘庆彬 冯志红

物理学报2024，Vol.73Issue(8)：P.323-328,6.
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物理学报2024，Vol.73Issue(8)：P.323-328,6.DOI:10.7498/aps.73.20240053

氢终端金刚石薄膜生长及其表面结构

马孟宇 1蔚翠 1何泽召 1郭建超 1刘庆彬 1冯志红1

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051 河北半导体研究所,固态微波器件与电路全国重点实验室,石家庄050051
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摘要

关键词

氢终端金刚石/甲烷浓度/生长模式/电性能

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

马孟宇,蔚翠,何泽召,郭建超,刘庆彬,冯志红..氢终端金刚石薄膜生长及其表面结构[J].物理学报,2024,73(8):P.323-328,6.

基金项目

国家重点研发计划(批准号:2022YFB3608603)资助的课题. （批准号:2022YFB3608603）

物理学报

OA北大核心CSTPCD

1000-3290

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