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钽掺杂对多层Ta-DLC薄膜摩擦及腐蚀行为的影响

李超 孙刚 马国佳 吴俊升 张博威 张昊泽

表面技术2024，Vol.53Issue(8)：P.63-73,11.
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表面技术2024，Vol.53Issue(8)：P.63-73,11.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.08.006

钽掺杂对多层Ta-DLC薄膜摩擦及腐蚀行为的影响

李超 1孙刚 2马国佳 2吴俊升 3张博威 3张昊泽2

作者信息

  • 1. 北京科技大学新材料技术研究院,北京100083 中国航发动力股份有限公司,西安710021
  • 2. 中国航空制造技术研究院,高能束流加工技术重点实验室,北京100024 中国航空制造技术研究院先进表面工程技术航空重点实验室,北京100024
  • 3. 北京科技大学新材料技术研究院,北京100083
  • 折叠

摘要

关键词

DLC薄膜/磁控溅射/腐蚀/摩擦磨损/元素掺杂

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

李超,孙刚,马国佳,吴俊升,张博威,张昊泽..钽掺杂对多层Ta-DLC薄膜摩擦及腐蚀行为的影响[J].表面技术,2024,53(8):P.63-73,11.

基金项目

国家自然科学基金(51771027) （51771027）

北京市自然科学基金(2212037) （2212037）

国家科技基础资源调查专项(2019FY101400)。 （2019FY101400）

表面技术

OA北大核心CSTPCD

1001-3660

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