微型电脑应用2024，Vol.40Issue(4)：P.50-54,5.
高频电磁镜面板平面度测量的不确定度评定
摘要
关键词
TEM室/平面度误差/MATLAB/最小二乘法/合像水平仪分类
机械制造引用本文复制引用
吴呼玲..高频电磁镜面板平面度测量的不确定度评定[J].微型电脑应用,2024,40(4):P.50-54,5.基金项目
陕西省教育科学“十四五”规划2021年度课题“基于课堂创新的‘计量仪器与检测’与‘数学建模’课程创新融合探索与实践”(SGH21Y0525)。 （SGH21Y0525）
