物理学报2024，Vol.73Issue(9)：P.236-243,8.DOI:10.7498/aps.73.20240082
低温快速制备基于溶液工艺的高性能氧化铟薄膜及晶体管
摘要
关键词
脉冲紫外线辅助热退火/氧化铟/溶液法/薄膜晶体管分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张雪,Kim Bokyung,Lee Hyeonju,Park Jaehoon..低温快速制备基于溶液工艺的高性能氧化铟薄膜及晶体管[J].物理学报,2024,73(9):P.236-243,8.基金项目
科技部中韩青年科学家交流计划(批准号:国科外[2021]5号)资助的课题. （批准号:国科外[2021]5号）
