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氧化镓悬臂式薄膜日盲探测器及其电弧检测应用

张裕 刘瑞文 张京阳 焦斌斌 王如志

物理学报2024,Vol.73Issue(9):P.279-286,8.
物理学报2024,Vol.73Issue(9):P.279-286,8.DOI:10.7498/aps.73.20240186

氧化镓悬臂式薄膜日盲探测器及其电弧检测应用

张裕 1刘瑞文 2张京阳 1焦斌斌 2王如志1

作者信息

  • 1. 北京工业大学材料科学与工程学院,新能源材料与技术研究所,新型功能材料教育部重点实验室,北京100124
  • 2. 中国科学院微电子研究所,北京100029 中国科学院大学,北京100049
  • 折叠

摘要

关键词

氧化镓/日盲探测器/电弧检测

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张裕,刘瑞文,张京阳,焦斌斌,王如志..氧化镓悬臂式薄膜日盲探测器及其电弧检测应用[J].物理学报,2024,73(9):P.279-286,8.

物理学报

OA北大核心CSTPCD

1000-3290

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