物理学报2024,Vol.73Issue(9):P.279-286,8.DOI:10.7498/aps.73.20240186
氧化镓悬臂式薄膜日盲探测器及其电弧检测应用
张裕 1刘瑞文 2张京阳 1焦斌斌 2王如志1
作者信息
- 1. 北京工业大学材料科学与工程学院,新能源材料与技术研究所,新型功能材料教育部重点实验室,北京100124
- 2. 中国科学院微电子研究所,北京100029 中国科学院大学,北京100049
- 折叠
摘要
关键词
氧化镓/日盲探测器/电弧检测分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张裕,刘瑞文,张京阳,焦斌斌,王如志..氧化镓悬臂式薄膜日盲探测器及其电弧检测应用[J].物理学报,2024,73(9):P.279-286,8.