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亚纳米超高精度光学面形干涉测量技术及应用

吴永前 刘锋伟 陈强 陈小君 徐燕 赵文川 闫锋涛

中国科技成果2024，Vol.25Issue(9)：2-3,2.
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中国科技成果2024，Vol.25Issue(9)：2-3,2.DOI:10.3772/j.issn.1009-5659.2024.09.003

亚纳米超高精度光学面形干涉测量技术及应用

吴永前 1刘锋伟 1陈强 1陈小君 1徐燕 1赵文川 1闫锋涛1

作者信息

  • 1. 中国科学院光电技术研究所,四川 成都 610209
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摘要

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吴永前,刘锋伟,陈强,陈小君,徐燕,赵文川,闫锋涛..亚纳米超高精度光学面形干涉测量技术及应用[J].中国科技成果,2024,25(9):2-3,2.

中国科技成果

1009-5659

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