人工晶体学报2024，Vol.53Issue(5)：P.792-802,11.
拉晶工艺参数对N型单晶硅氧含量的影响研究
柴晨 1张军 1王玉龙 2韩庆辉 1李怀铭1
作者信息
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摘要
关键词
N型单晶硅/降氧/坩埚转速/氩气流量/炉压/同心圆分类
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柴晨,张军,王玉龙,韩庆辉,李怀铭..拉晶工艺参数对N型单晶硅氧含量的影响研究[J].人工晶体学报,2024,53(5):P.792-802,11.
