拉晶工艺参数对N型单晶硅氧含量的影响研究OA北大核心CSTPCD
TOPCon电池基板是以N型硅片为主,N型硅片的氧含量在一定程度上影响着TOPCon电池的转换效率。本文采用直拉法进行单晶硅的拉制,通过调整埚转、氩气流量和炉压来研究拉晶工艺参数对N型单晶硅氧含量的影响。数值模拟分析和实验结果表明:坩埚转速的增加会抑制浮力-热毛细漩涡,减少熔体界面处SiO的挥发,提高硅熔体内部和单晶硅棒氧含量;增大氩气流量和降低炉压可增大熔体界面处SiO的质量流量,有效促进SiO挥发,减少固液界面处氧含量,从而降低单晶硅棒氧含量…查看全部>>
柴晨;张军;王玉龙;韩庆辉;李怀铭
晶澳太阳能科技股份有限公司,北京100160晶澳太阳能科技股份有限公司,北京100160晶澳太阳能有限公司,邢台055550晶澳太阳能科技股份有限公司,北京100160晶澳太阳能科技股份有限公司,北京100160
N型单晶硅降氧坩埚转速氩气流量炉压同心圆
《人工晶体学报》 2024 (5)
P.792-802,11
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