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VGF法磷化铟单晶炉加热器对炉内热场分布影响的研究

艾家辛 万洪平 钱俊兵 韦华

人工晶体学报2024，Vol.53Issue(5)：P.781-791,11.
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人工晶体学报2024，Vol.53Issue(5)：P.781-791,11.

VGF法磷化铟单晶炉加热器对炉内热场分布影响的研究

艾家辛 1万洪平 2钱俊兵 1韦华3

作者信息

  • 1. 昆明理工大学民航与航空学院,昆明650500
  • 2. 中国广核新能源控股有限公司云南分公司,昆明650000
  • 3. 云南鑫耀半导体材料有限公司,昆明650503
  • 折叠

摘要

关键词

磷化铟单晶/垂直梯度凝固法/热场/数值模拟/半导体/晶体生长

分类

数理科学

引用本文复制引用

艾家辛,万洪平,钱俊兵,韦华..VGF法磷化铟单晶炉加热器对炉内热场分布影响的研究[J].人工晶体学报,2024,53(5):P.781-791,11.

基金项目

云南省省市一体化专项(202202AH080009)。 （202202AH080009）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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