人工晶体学报2024，Vol.53Issue(5)：P.818-823,6.
TOPCon太阳电池单面沉积Poly-Si的工艺研究
代同光 1谭新 1宋志成 1郭永刚 1袁雅静 1倪玉凤 1汪梁1
作者信息
- 1. 青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司,西安710100
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摘要
关键词
TOPCon太阳电池/Poly-Si绕镀层/低压化学气相沉积/BSG/PSG/腐蚀速率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
代同光,谭新,宋志成,郭永刚,袁雅静,倪玉凤,汪梁..TOPCon太阳电池单面沉积Poly-Si的工艺研究[J].人工晶体学报,2024,53(5):P.818-823,6.
