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铟锡氧(ITO)和氟锡氧(FTO)透明导电薄膜的表征与分析

初学峰 黄林茂 张祺 谢意含 胡小军

人工晶体学报2024，Vol.53Issue(5)：P.848-854,7.
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人工晶体学报2024，Vol.53Issue(5)：P.848-854,7.

铟锡氧(ITO)和氟锡氧(FTO)透明导电薄膜的表征与分析

初学峰 1黄林茂 1张祺 1谢意含 1胡小军1

作者信息

  • 1. 吉林建筑大学寒地建筑综合节能教育部重点实验室,长春130118 吉林建筑大学电气与计算机学院,长春130118
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摘要

关键词

透明导电氧化物/磁控溅射/退火/表面形貌/X射线光电子能谱/透过率

分类

数理科学

引用本文复制引用

初学峰,黄林茂,张祺,谢意含,胡小军..铟锡氧(ITO)和氟锡氧(FTO)透明导电薄膜的表征与分析[J].人工晶体学报,2024,53(5):P.848-854,7.

基金项目

吉林省科技发展计划(20220201068GX)。 （20220201068GX）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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