人工晶体学报2024，Vol.53Issue(5)：P.773-780,791,9.
重掺杂P型SiC的熔融KOH刻蚀行为研究
摘要
关键词
P型碳化硅/腐蚀/位错/重掺杂/腐蚀速率/活化能分类
数理科学引用本文复制引用
程佳辉,杨磊,王劲楠,龚春生,张泽盛,简基康..重掺杂P型SiC的熔融KOH刻蚀行为研究[J].人工晶体学报,2024,53(5):P.773-780,791,9.基金项目
广东省自然科学基金面上项目(2022A1515012628) （2022A1515012628）
北京市科技计划项目(Z231100006023015)。 （Z231100006023015）
