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40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展

来搏 蒋励 齐润泽 王占山

光学精密工程2024，Vol.32Issue(9)：P.1293-1306,14.
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光学精密工程2024，Vol.32Issue(9)：P.1293-1306,14.DOI:10.37188/OPE.20243209.1293

40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展

来搏 1蒋励 1齐润泽 1王占山1

作者信息

  • 1. 同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所先进微结构材料教育部重点实验室,上海200092
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摘要

关键词

光学薄膜/极紫外/多层膜/窄带/高反射

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

来搏,蒋励,齐润泽,王占山..40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展[J].光学精密工程,2024,32(9):P.1293-1306,14.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.12204353,No.12003016) （No.12204353,No.12003016）

中央高校基本科研业务费专项资金资助项目。 （）

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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