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Micro-LED芯片激光去除机理及工艺参数优化

乔健 吴振铎 彭信翰 冉雨宣 杨景卫

光学精密工程2024，Vol.32Issue(9)：P.1360-1370,11.
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光学精密工程2024，Vol.32Issue(9)：P.1360-1370,11.DOI:10.37188/OPE.20243209.1360

Micro-LED芯片激光去除机理及工艺参数优化

乔健 1吴振铎 2彭信翰 3冉雨宣 2杨景卫2

作者信息

  • 1. 佛山科学技术学院,广东省工业智能检测技术重点实验室,广东佛山528000 季华实验室,广东佛山528200
  • 2. 佛山科学技术学院,广东省工业智能检测技术重点实验室,广东佛山528000
  • 3. 深圳市海目星激光智能装备股份有限公司,广东深圳518000
  • 折叠

摘要

关键词

飞秒激光/原位去除/微发光二极管显示器/不良芯片

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

乔健,吴振铎,彭信翰,冉雨宣,杨景卫..Micro-LED芯片激光去除机理及工艺参数优化[J].光学精密工程,2024,32(9):P.1360-1370,11.

基金项目

深圳市科技计划资助项目(No.KJZD20231023092302006) （No.KJZD20231023092302006）

广东省重点建设学科科研能力提升项目(No.2022ZDJS042)。 （No.2022ZDJS042）

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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