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界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列

李菲尔 余佳珈 杜立群 吴梦希 刘军山

光学精密工程2024，Vol.32Issue(9)：P.1384-1394,11.
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光学精密工程2024，Vol.32Issue(9)：P.1384-1394,11.DOI:10.37188/OPE.20243209.1384

界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列

李菲尔 1余佳珈 1杜立群 1吴梦希 1刘军山1

作者信息

  • 1. 大连理工大学高性能精密制造全国重点实验室,辽宁大连116024 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连116024
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摘要

关键词

微棱镜/湿法刻蚀/硼硅玻璃/界面钻蚀/准各向异性刻蚀

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李菲尔,余佳珈,杜立群,吴梦希,刘军山..界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列[J].光学精密工程,2024,32(9):P.1384-1394,11.

基金项目

国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3204600) （No.2022YFB3204600）

大连理工大学医工交叉联合基金资助项目(No.DUT23YG215)。 （No.DUT23YG215）

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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