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激光共焦干涉面形快速高精度自动测量

赵家豪杨帅杨铮崔健邱丽荣赵维谦

光学精密工程2024，Vol.32Issue(9)：P.1320-1329,10.

光学精密工程2024，Vol.32Issue(9)：P.1320-1329,10.DOI:10.37188/OPE.20243209.1320

赵家豪 ¹杨帅 ¹杨铮 ¹崔健 ¹邱丽荣 ¹赵维谦¹

作者信息

激光共焦测量/移相干涉/共焦法/姿态调整/Zernike拟合/自动测量

机械制造

赵家豪,杨帅,杨铮,崔健,邱丽荣,赵维谦..激光共焦干涉面形快速高精度自动测量[J].光学精密工程,2024,32(9):P.1320-1329,10.

国家自然科学基金资助项目(No.U22A6006) （No.U22A6006）

民用航天技术预先研究项目(No.D020402)。（No.D020402）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1004-924X

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