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以SiH_(4)为介质扩散法生产^(28)Si技术研究

孙旺 周明胜 姜东君 潘建雄

同位素2024，Vol.37Issue(3)：P.203-210,8.
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同位素2024，Vol.37Issue(3)：P.203-210,8.DOI:10.7538/tws.2024.37.03.0203

以SiH_(4)为介质扩散法生产^(28)Si技术研究

孙旺 1周明胜 1姜东君 1潘建雄1

作者信息

  • 1. 清华大学,北京100084
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摘要

关键词

硅同位素/甲硅烷/气体扩散法/基本全分离系数

分类

能源科技

引用本文复制引用

孙旺,周明胜,姜东君,潘建雄..以SiH_(4)为介质扩散法生产^(28)Si技术研究[J].同位素,2024,37(3):P.203-210,8.

同位素

OACSTPCD

1000-7512

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