表面技术2024，Vol.53Issue(11)：P.127-139,13.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.11.011
激光织构形状间距对单晶硅摩擦磨损特性的影响
摘要
关键词
微织构/单晶硅/摩擦磨损/激光加工/摩擦因数/磨损率/摩擦生热分类
机械制造引用本文复制引用
周意皓,陈文刚,程家豪,郭思良,魏北朝,袁浩恩,Dongyang Li..激光织构形状间距对单晶硅摩擦磨损特性的影响[J].表面技术,2024,53(11):P.127-139,13.基金项目
云南省Dongyang Li院士工作站项目(202305AF150019) （202305AF150019）
国家自然科学基金(51865053) （51865053）
云南省教育厅科学研究基金(2023Y076,2023Y0760)。 （2023Y076,2023Y0760）
