热丝化学气相沉积法制备单晶金刚石的试验研究OA北大核心CSTPCD
Experimental study on synthesis of single crystal diamond by hot filament chemical vapor deposition method
热丝化学气相沉积法沉积区域可达12英寸(30.48 cm),其具备大批量生产单晶金刚石的潜力.采用尺寸为3 mm×3 mm×1 mm,(100)取向的单晶金刚石为基体,利用热丝化学气相沉积法以甲烷和氢气为前驱体,同时通入少量氮气进行同质外延生长.结果表明,在热丝温度为 2 200℃、碳源浓度为 4%、腔体气压为 4 kPa的条件下,单晶金刚石以 3.41 μm/h的速度生长,表面无多晶、破口、孔洞等缺陷;外延层X射线衍射光谱在(400)面处峰值的…查看全部>>
The deposition area of the hot filament chemical vapor deposition(HFCVD)method can reach 12 inches,which has the potential to produce larger-sized single crystal diamonds.In this study,single crystal diamond with a size of 3 mm×3 mm×1 mm and(100)orientation was used as the substrate.Homoepitaxial growth was carried out using the HFCVD method with methane and hydrogen as precursors,and a small amount of nitrogen gas.The results show that under the conditions …查看全部>>
张川;刘栋栋;陆明;孙方宏
上海交通大学 机械与动力工程学院,上海 200240上海交通大学 机械与动力工程学院,上海 200240上海交通大学 机械与动力工程学院,上海 200240上海交通大学 机械与动力工程学院,上海 200240
化学工程
热丝化学气相沉积法单晶金刚石工艺参数优化氮气掺杂
hot filament chemical vapor depositionsingle crystal diamondoptimization of deposition parametersni-trogen doping
《金刚石与磨料磨具工程》 2024 (3)
279-285,7
国家自然科学基金项目"基于陶瓷中间过渡层的梯度渐变超纳米金刚石复合涂层制备新技术与应用基础研究"(项目编号:52175424).
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