传感技术学报2024，Vol.37Issue(5)：P.737-742,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2024.05.001
微纳电极阵等离子体微系统
丁衡高 1侯中宇2
作者信息
- 1. 原总装备部,北京100034
- 2. 上海交通大学微米纳米加工技术全国重点实验室,上海200240
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摘要
关键词
微机电系统/微纳电极阵/等离子体分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
丁衡高,侯中宇..微纳电极阵等离子体微系统[J].传感技术学报,2024,37(5):P.737-742,6.
