激光烧蚀反应烧结碳化硅表面形貌特征及亚表面损伤研究OA
Study on Surface Characteristics and Subsurface Damage of RB-SiC/Si by Laser Ablation
反应烧结碳化硅(RB-SiC/Si)因具有耐高温、耐腐蚀、比刚度高、热膨胀小、耐磨等优点而广泛应用于大口径空间望远镜、卫星遥感、航空发动机零部件等领域.然而高强度高硬度的材料特性,也导致反应烧结碳化硅呈现出难加工的特点.激光束加工具有能量密度高、加工范围广等特点,适用于加工硬脆材料,但同时也存在表面热损伤严重的缺点.本文研究了激光参数对反应烧结碳化硅加工表面形貌特征的影响,分析了纳秒激光与反应烧结碳化硅之间的作用机理.在反应烧结碳化硅烧蚀产物分析…查看全部>>
RB-SiC/Si has the advantages of high specific stiffness,good chemical stability,low thermal expansion coefficient and wear resistance,etc.Therefore,it is widely applied in large aperture space telescopes,satellite remote sensing,aviation engine components,and so on.However,the material characteristics of high strength and hardness also make it difficult to be machined.Characterized of high energy density,Laser processing is suitable for hard and brittle mate…查看全部>>
张全利;刘建;孙智源;吴明涛;蔡毅斌;曾加恒;金锃阳;傅玉灿
南京航空航天大学,江苏 南京 210016南京航空航天大学,江苏 南京 210016航空工业沈阳飞机工业(集团)有限公司,辽宁 沈阳 110850四川省精密超精密加工工程技术研究中心,四川 成都 610200南京航空航天大学,江苏 南京 210016南京航空航天大学,江苏 南京 210016南京航空航天大学,江苏 南京 210016南京航空航天大学,江苏 南京 210016
纳秒脉冲激光RB-SiC/Si材料去除机理表面特征亚表面损伤
nanosecond pulsed laserRB-SiC/Simaterial removal mechanismsurface characteristicsubsurface damage
《航空科学技术》 2024 (7)
56-64,9
国家自然科学基金(52175412,52005461)航空科学基金(2019ZE052014) National Natural Science Foundation of China(52175412,52005461)Aeronautical Science Foundation of China(2019ZE052014)
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