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基于相位调制的高相干光源照明匀化方法OA北大核心CSTPCD

Illumination homogenization of highly coherent light source based on phase modulation

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蝇眼透镜被用于高相干性激光的整形匀化时,会产生多子光束干涉现象导致照明面光强呈现梳状分布.本文建立了一种蝇眼随机相位调制匀化系统仿真模型,对蝇眼透镜子光束进行随机相位调制,并统计平均多次照明光强.理论和仿真分析证明该方法可以有效地消除干涉图案,提高照明均匀性.进一步展示了蝇眼透镜子孔径和焦距对该系统匀化效果的影响,并通过优化系统参数和结构,减弱了蝇眼透镜衍射效应的影响,提高了匀化效果,最终在100 mm2 的方形区域内实现了不均匀性小于1.2%的均匀照明.

When using a fly's eye lens system to homogenize highly coherent light sources,the interference effect between the sub-beams can cause a periodic speckle distribution of illumination intensity,thereby disrupting illumination uniformity.It has been shown that using a rotating optical phase-shift plate behind the fly's eye lens can eliminate interference patterns,but it only demonstrates engineering realizations.And the theoretical analysis and technical guida…查看全部>>

魏嘉昕;沙鹏飞;方旭晨;卢增雄;李慧;谭芳蕊;吴晓斌

中国科学院微电子研究所,光电技术研发中心,北京 100029||中国科学院大学,北京 100049中国科学院微电子研究所,光电技术研发中心,北京 100029||中国科学院大学,北京 100049中国科学院微电子研究所,光电技术研发中心,北京 100029||中国科学院大学,北京 100049中国科学院微电子研究所,光电技术研发中心,北京 100029||中国科学院大学,北京 100049中国科学院微电子研究所,光电技术研发中心,北京 100029||中国科学院大学,北京 100049中国科学院微电子研究所,光电技术研发中心,北京 100029中国科学院微电子研究所,光电技术研发中心,北京 100029||中国科学院大学,北京 100049

高相干光匀化蝇眼透镜相位调制

high-coherence lighthomogenizationfly's eye lensphase modulation

《物理学报》 2024 (15)

23-34,12

10.7498/aps.73.20240644

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