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磁控溅射法制备掺镁氧化锌薄膜的微观结构及其物理性质

顾锦华 万鑫 冯朝德 龙浩 钟志有

中南民族大学学报（自然科学版）2024，Vol.43Issue(5)：P.709-717,9.
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中南民族大学学报（自然科学版）2024，Vol.43Issue(5)：P.709-717,9.DOI:10.20056/j.cnki.ZNMDZK.20240518

磁控溅射法制备掺镁氧化锌薄膜的微观结构及其物理性质

顾锦华 1万鑫 2冯朝德 2龙浩 3钟志有3

作者信息

  • 1. 中南民族大学实验教学与工程训练中心,武汉430074
  • 2. 中南民族大学电子信息工程学院,武汉430074
  • 3. 中南民族大学电子信息工程学院,武汉430074 中南民族大学智能无线通信湖北省重点实验室,武汉430074
  • 折叠

摘要

关键词

磁控溅射/掺杂氧化锌/微观结构/气敏性能

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

顾锦华,万鑫,冯朝德,龙浩,钟志有..磁控溅射法制备掺镁氧化锌薄膜的微观结构及其物理性质[J].中南民族大学学报（自然科学版）,2024,43(5):P.709-717,9.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(12075322)。 （12075322）

中南民族大学学报（自然科学版）

1672-4321

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