光学精密工程2024,Vol.32Issue(12):P.1891-1901,11.DOI:10.37188/OPE.20243212.1891
低寄生性能均衡的柔顺导向平台优化设计与实验
摘要
关键词
柔顺机构/压电驱动/长行程/高频/寄生位移分类
机械制造引用本文复制引用
郑诚心,孙小庆,孙志宏,缪翌杰,侯秀松..低寄生性能均衡的柔顺导向平台优化设计与实验[J].光学精密工程,2024,32(12):P.1891-1901,11.基金项目
中国博士后面上资助项目(No.2022M712835) (No.2022M712835)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.2232023G-06) (No.2232023G-06)
国家先进印染技术创新中心科研基金(No.2022GCJJ11) (No.2022GCJJ11)
机械系统与振动国家重点实验室课题资助项目(No.MSV202317)。 (No.MSV202317)