电子器件2024，Vol.47Issue(3)：P.743-748,6.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2024.03.025
基于四焦距相位相干机器视觉的晶体微缺陷检测
摘要
关键词
图像处理/相位相干/机器视觉/晶体/缺陷检测分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
朱涛,黄玉玲,陶昕辰,张泽宇,朱厚森,陈王宇,羊箭锋,杨勇,吴迪..基于四焦距相位相干机器视觉的晶体微缺陷检测[J].电子器件,2024,47(3):P.743-748,6.基金项目
苏州大学“大学生创新创业训练计划”项目(202110285074K)。 （202110285074K）
