物理学报2024，Vol.73Issue(13)：P.210-219,10.DOI:10.7498/aps.73.20240436
感性耦合Ar/O_(2)等离子体放电特性的数值模拟
摘要
关键词
感性耦合等离子体/Ar/O_(2)等离子体/腔室材料/流体力学模拟分类
数理科学引用本文复制引用
张雨涵,赵欣茜,梁英爽,郭媛媛..感性耦合Ar/O_(2)等离子体放电特性的数值模拟[J].物理学报,2024,73(13):P.210-219,10.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金(批准号:11805089) （批准号:11805089）
辽宁省教育厅基本科研项目(批准号:LJKMZ20220657) （批准号:LJKMZ20220657）
辽宁科技大学大学生创新创业训练计划资助的课题。 （）
