|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|光学精密工程|微型阵列束闸设计与实验

微型阵列束闸设计与实验

张利新 孙博彤 刘星云 殷伯华 刘俊标 韩立

光学精密工程2024，Vol.32Issue(13)：P.2061-2069,9.
✕
光学精密工程2024，Vol.32Issue(13)：P.2061-2069,9.DOI:10.37188/OPE.20243213.2061

微型阵列束闸设计与实验

张利新 1孙博彤 1刘星云 2殷伯华 2刘俊标 2韩立2

作者信息

  • 1. 中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部,北京100190
  • 2. 中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部,北京100190 中国科学院大学电子电气与通信工程学院,北京100049
  • 折叠

摘要

关键词

电子束曝光/阵列束闸/多束电子束/串扰/偏转速度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张利新,孙博彤,刘星云,殷伯华,刘俊标,韩立..微型阵列束闸设计与实验[J].光学精密工程,2024,32(13):P.2061-2069,9.

基金项目

国家自然科学青年基金资助项目(No.62101528) （No.62101528）

中国科学院科研仪器设备研制项目(No.GJJ⁃STD20200003)。 （No.GJJ⁃STD20200003）

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文