微型阵列束闸设计与实验OA北大核心CSTPCD
微型阵列束闸是多束电子束曝光系统的关键部件,用于控制多束电子束的开/关,实现复杂图形的快速曝光。对3×3微型阵列束闸进行了设计与制作,并进行了多束电子束偏转实验研究。对阵列束闸结构进行了优化设计,并基于MEMS加工工艺成功制备了阵列束闸。针对阵列束闸的控制要求,设计了可单独控制的阵列束闸控制器。将控制器与阵列束闸进行连接,验证了控制器的偏转速度与功能完整性。最后,在多束电子束测试平台对阵列束闸进行了偏转实验,研究串扰对电子束偏转的影响。实验结果表…查看全部>>
张利新;孙博彤;刘星云;殷伯华;刘俊标;韩立
中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部,北京100190中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部,北京100190中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部,北京100190 中国科学院大学电子电气与通信工程学院,北京100049中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部,北京100190 中国科学院大学电子电气与通信工程学院,北京100049中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部,北京100190 中国科学院大学电子电气与通信工程学院,北京100049中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部,北京100190 中国科学院大学电子电气与通信工程学院,北京100049
电子信息工程
电子束曝光阵列束闸多束电子束串扰偏转速度
《光学精密工程》 2024 (13)
P.2061-2069,9
国家自然科学青年基金资助项目(No.62101528)中国科学院科研仪器设备研制项目(No.GJJ⁃STD20200003)。
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