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具有双重显影特性的多用途单分子树脂化学放大光刻胶

苑晓冬 陈金平 于天君 曾毅 李嫕

应用化学2024，Vol.41Issue(7)：P.1024-1034,11.
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应用化学2024，Vol.41Issue(7)：P.1024-1034,11.DOI:10.19894/j.issn.1000-0518.240036

具有双重显影特性的多用途单分子树脂化学放大光刻胶

苑晓冬 1陈金平 1于天君 2曾毅 1李嫕1

作者信息

  • 1. 中国科学院理化技术研究所,光化学转换与功能材料重点实验室,北京100190 中国科学院大学,北京100049
  • 2. 中国科学院理化技术研究所,光化学转换与功能材料重点实验室,北京100190
  • 折叠

摘要

关键词

化学放大光刻胶/双重显影/单分子树脂/365 nm光刻/电子束光刻

分类

化学化工

引用本文复制引用

苑晓冬,陈金平,于天君,曾毅,李嫕..具有双重显影特性的多用途单分子树脂化学放大光刻胶[J].应用化学,2024,41(7):P.1024-1034,11.

基金项目

国家自然科学基金(No.22090012)资助。 （No.22090012）

应用化学

OA北大核心CSTPCD

1000-0518

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