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Al掺杂对β-Ga_(2)O_(3)薄膜光学性质的影响研究

钟琼丽王绪马奎杨发顺

人工晶体学报2024，Vol.53Issue(8)：P.1352-1360,9.

钟琼丽 ¹王绪 ¹马奎 ²杨发顺²

作者信息

1. 贵州大学大数据与信息工程学院,贵阳550025
2. 贵州大学大数据与信息工程学院,贵阳550025 贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳550025 半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵阳550025
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β-Ga_(2)O_(3)薄膜/Al掺杂/磁控溅射/Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_(3)复合结构/光吸收/光学带隙

信息技术与安全科学

钟琼丽,王绪,马奎,杨发顺..Al掺杂对β-Ga_(2)O_(3)薄膜光学性质的影响研究[J].人工晶体学报,2024,53(8):P.1352-1360,9.

半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心开放基金项目(ERCME-KFJJ2019-(01))。（ERCME-KFJJ2019-(01）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1000-985X

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