|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|光学精密工程|基于光谱共焦探针的Wolter-Ⅰ型X射线显微镜芯轴高精度检测

基于光谱共焦探针的Wolter-Ⅰ型X射线显微镜芯轴高精度检测

薛春安 余俊 盛鹏峰 王豪杰 王占山 王东方

光学精密工程2024，Vol.32Issue(13)：P.2004-2016,13.
✕
光学精密工程2024，Vol.32Issue(13)：P.2004-2016,13.DOI:10.37188/OPE.20243213.2004

基于光谱共焦探针的Wolter-Ⅰ型X射线显微镜芯轴高精度检测

薛春安 1余俊 1盛鹏峰 2王豪杰 1王占山 1王东方3

作者信息

  • 1. 同济大学精密光学工程技术研究所,上海200331 同济大学先进微结构材料教育部重点实验室,上海200331
  • 2. 同济大学精密光学工程技术研究所,上海200331 同济大学机械工程学院,上海200331
  • 3. 中国科学院上海技术物理研究所光电制造工程中心,上海200083
  • 折叠

摘要

关键词

光学测量/Wolter-Ⅰ型X射线显微镜芯轴/离线检测方法/光谱共焦探针/误差分析

分类

机械制造

引用本文复制引用

薛春安,余俊,盛鹏峰,王豪杰,王占山,王东方..基于光谱共焦探针的Wolter-Ⅰ型X射线显微镜芯轴高精度检测[J].光学精密工程,2024,32(13):P.2004-2016,13.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.62105244,No.U2030111) （No.62105244,No.U2030111）

上海市自然科学基金资助项目(No.21ZR1473600) （No.21ZR1473600）

上海市产业协同创新(科技)项目(No.XTCX-KJ-2023-30) （科技）

中国科学院青年创新促进会项目(No.Y1K4H0FKG1) （No.Y1K4H0FKG1）

国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.12305365)。 （No.12305365）

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文