基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测OA北大核心CSTPCD
Wolter型X射线显微镜具有高分辨率和集光区域,在先进光源和高能激光器中有重要的应用价值。基于镍电镀成形的复制法是制备Wolter型X射线显微镜的有效方法之一,其中,芯轴的表面精度和质量会直接影响X射线成像的性能。高精度检测技术是芯轴制备的基础,而传统检测装置难以测量具有圆周回旋对称特征的Wolter型表面轮廓。为了解决Wolter型芯轴检测难和测量精度低的问题,搭建了基于光谱共焦探针的离线检测装置实现芯轴表面中低频轮廓的高精度测量,分析了该装置的各类系统误差和随机误差,并采用双探针与标准镜来校准测试过程,将测试中的温湿度漂移和随机误差的PV值降低至23 nm。最后,开展了该检测装置和CGH干涉检测法的检测对比实验。通过Wolter芯轴表面测试结果比较,两种测试方法的偏差PV值约为60 nm,证明了该检测装置的合理性和检测方法的准确性。
薛春安;余俊;盛鹏峰;王豪杰;王占山;王东方;
同济大学精密光学工程技术研究所,上海200331 同济大学先进微结构材料教育部重点实验室,上海200331同济大学精密光学工程技术研究所,上海200331 同济大学机械工程学院,上海200331中国科学院上海技术物理研究所光电制造工程中心,上海200083
机械工程
光学测量Wolter-I型X射线显微镜芯轴离线检测方法光谱共焦探针误差分析
《光学精密工程》 2024 (013)
P.2004-2016 / 13
国家自然科学基金资助项目(No.62105244,No.U2030111);上海市自然科学基金资助项目(No.21ZR1473600);上海市产业协同创新(科技)项目(No.XTCX-KJ-2023-30);中国科学院青年创新促进会项目(No.Y1K4H0FKG1);国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.12305365)。
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