光学精密工程2024，Vol.32Issue(13)：P.2081-2090,10.DOI:10.37188/OPE.20243213.2081
基于磨粒三维轨迹的钽酸锂双面研磨均匀性
摘要
关键词
固结磨料研磨/钽酸锂晶片/磨粒运动轨迹/材料去除均匀性分类
机械制造引用本文复制引用
薛赛赛,郭晓光,贾玙璠,高尚,康仁科..基于磨粒三维轨迹的钽酸锂双面研磨均匀性[J].光学精密工程,2024,32(13):P.2081-2090,10.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.52175382)。 （No.52175382）
