电子器件2024，Vol.47Issue(3)：P.865-869,5.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2024.03.042
原子层沉积法制备鸡蛋清栅介质ZnO-TFT及其性能研究
摘要
关键词
氧化锌薄膜晶体管/偏压应力/稳定性/双电层/原子层沉积分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王聪,黄荷,刘玉荣,彭强..原子层沉积法制备鸡蛋清栅介质ZnO-TFT及其性能研究[J].电子器件,2024,47(3):P.865-869,5.基金项目
广东省普通高校重点领域专项(新一代信息技术)项目(2020ZDZX3125) （新一代信息技术）
国家自然科学基金项目(61871195) （61871195）
广东省基础与应用基础研究基金项目(2021A1515011872)。 （2021A1515011872）
