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非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正

李姝姝 余卿 张耀祖 张伟 王寅 刘婷 郑伟峰 李丽娜

光学精密工程2024，Vol.32Issue(13)：P.2040-2051,12.
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光学精密工程2024，Vol.32Issue(13)：P.2040-2051,12.DOI:10.37188/OPE.20243213.2040

非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正

李姝姝 1余卿 2张耀祖 1张伟 1王寅 1刘婷 1郑伟峰 3李丽娜1

作者信息

  • 1. 华侨大学机电及自动化学院,福建厦门361021
  • 2. 华侨大学机电及自动化学院,福建厦门361021 福建省移动机械绿色智能驱动与传动重点实验室,福建厦门361021
  • 3. 厦门市计量检定测试院,福建厦门361004
  • 折叠

摘要

关键词

光学测量/彩色共焦测量/倾斜角度/高度测量/误差补偿

分类

机械制造

引用本文复制引用

李姝姝,余卿,张耀祖,张伟,王寅,刘婷,郑伟峰,李丽娜..非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正[J].光学精密工程,2024,32(13):P.2040-2051,12.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.52075190,No.52211530491) （No.52075190,No.52211530491）

福建省科技计划项目(No.2023I0017) （No.2023I0017）

国家市场监督管理总局科技计划项目(No.2023MK136)。 （No.2023MK136）

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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