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闭腔型氧泵测氧芯片结构参数对特征时间t_(d)的影响研究

朱旭 谢光远 杨开武 廖清林 吕俊涛 王典

传感技术学报2024，Vol.37Issue(7)：P.1120-1125,6.
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传感技术学报2024，Vol.37Issue(7)：P.1120-1125,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2024.07.003

闭腔型氧泵测氧芯片结构参数对特征时间t_(d)的影响研究

朱旭 1谢光远 1杨开武 2廖清林 1吕俊涛 1王典1

作者信息

  • 1. 武汉科技大学材料与冶金学院,湖北武汉430081
  • 2. 湖北精圭锆业有限公司,湖北应城432499
  • 折叠

摘要

关键词

氧传感器/氧化锆/特征时间/铂电极/结构参数

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

朱旭,谢光远,杨开武,廖清林,吕俊涛,王典..闭腔型氧泵测氧芯片结构参数对特征时间t_(d)的影响研究[J].传感技术学报,2024,37(7):P.1120-1125,6.

基金项目

湖北省科技计划项目(2022BEC011)。 （2022BEC011）

传感技术学报

OA北大核心CSTPCD

1004-1699

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