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PET薄膜激光刻蚀高精度形貌测量

谢佳豪 黄彩虹 易定容 叶一青 黄磊

厦门大学学报（自然科学版）2024，Vol.63Issue(4)：P.630-639,10.
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厦门大学学报（自然科学版）2024，Vol.63Issue(4)：P.630-639,10.DOI:10.6043/j.issn.0438-0479.202209054

PET薄膜激光刻蚀高精度形貌测量

谢佳豪 1黄彩虹 2易定容 1叶一青 1黄磊3

作者信息

  • 1. 华侨大学机电及自动化学院,光学成像检测实验室,福建厦门361021
  • 2. 华侨大学信息科学与工程学院,福建厦门361021
  • 3. 厦门大学生命科学学院,福建厦门361102
  • 折叠

摘要

关键词

三维测量/PET薄膜/图像对比度/图像平滑

分类

机械制造

引用本文复制引用

谢佳豪,黄彩虹,易定容,叶一青,黄磊..PET薄膜激光刻蚀高精度形貌测量[J].厦门大学学报（自然科学版）,2024,63(4):P.630-639,10.

基金项目

福建省自然科学基金面上项目(2021J01293),福建省自然科学基金重点项目(2020J02005)。 （2021J01293）

厦门大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSTPCD

0438-0479

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