PET薄膜激光刻蚀高精度形貌测量OA北大核心CSTPCD
[目的]激光刻蚀高分子薄膜是制备仿生纳米通道的常用方法,刻蚀尺寸的测量对提高制备质量具有重要意义.受到刻蚀尺寸在微纳米级,薄膜反射率低、受成像噪声干扰严重等影响,激光刻蚀薄膜微纳表面形貌高精度测量一直是艰巨的挑战.[方法]基于并行物方差动共聚焦成像与图像抗干扰方法结合,实现激光刻蚀聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terphthalate,PET)膜后的微纳表面形貌的高精度测量.首先,介绍并行物方差动共聚焦三维成像原理,刻度了系统在…查看全部>>
谢佳豪;黄彩虹;易定容;叶一青;黄磊
华侨大学机电及自动化学院,光学成像检测实验室,福建厦门361021华侨大学信息科学与工程学院,福建厦门361021华侨大学机电及自动化学院,光学成像检测实验室,福建厦门361021华侨大学机电及自动化学院,光学成像检测实验室,福建厦门361021厦门大学生命科学学院,福建厦门361102
机械工程
三维测量PET薄膜图像对比度图像平滑
《厦门大学学报（自然科学版）》 2024 (4)
P.630-639,10
福建省自然科学基金面上项目(2021J01293),福建省自然科学基金重点项目(2020J02005)。
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