光学精密工程2024，Vol.32Issue(13)：P.2070-2080,11.DOI:10.37188/OPE.20243213.2070
基于Zigzag柔性簧片的大行程XY精密运动平台
摘要
关键词
精密定位平台/音圈电机/柔顺机构/低应力分类
机械制造引用本文复制引用
赵林峰,凌明祥,薛立伟,申浩,陈立国..基于Zigzag柔性簧片的大行程XY精密运动平台[J].光学精密工程,2024,32(13):P.2070-2080,11.基金项目
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB4701003)。 （No.2022YFB4701003）
