基于Zigzag柔性簧片的大行程XY精密运动平台OA北大核心CSTPCD
通过采用Zigzag柔性簧片作为导向机构,提出了一种具有大行程、高精度、高频响、低应力的并联式XY二自由度精密定位平台,满足精密运动的需求。提出了以Zigzag柔性簧片单元为核心导向梁的柔顺精密运动平台结构,并采用音圈电机进行驱动,实现3 mm×3 mm的运动范围和60 Hz以上的固有频率。对Zigzag柔性簧片和传统直梁柔性簧片进行有限元仿真分析对比,验证Zigzag柔性簧片运动性能的优越性。接着,对XY两自由度运动进行解耦设计,减小运动带来的…查看全部>>
赵林峰;凌明祥;薛立伟;申浩;陈立国
苏州大学机电工程学院,江苏苏州215000苏州大学机电工程学院,江苏苏州215000苏州大学机电工程学院,江苏苏州215000苏州大学机电工程学院,江苏苏州215000苏州大学机电工程学院,江苏苏州215000
机械工程
精密定位平台音圈电机柔顺机构低应力
《光学精密工程》 2024 (13)
P.2070-2080,11
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB4701003)。
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