光学元件双面抛光加工面型预测模型OA北大核心CSTPCD
Predictive modeling of the surface pattern of double-sided polishing process of optical components
针对双面抛光难以建立稳定去除函数进行加工面型预测这一问题,基于双面抛光加工原理,采用坐标变换法推导出元件上下表面相对速度分布方程,然后运用ANSYS软件仿真元件上下表面静态压力分布,采用多项式拟合法将仿真数据导入Matlab软件拟合出元件上下表面压力分布随时间变化公式.根据Preston方程推导修正系数K表达式,通过 4组抛光实验数据计算出修正系数K值为 2.588×10-15,构建双面抛光加工面型预测模型.最后通过加工实验验证该预测模型,实验结…查看全部>>
To address the challenge of establishing a stable removal function for double-sided polishing to predict the finished surface profile,we use the coordinate transformation method to derive the relative velocity distribution equations for the upper and lower surfaces of the component.Subsequently,static pressure distributions on both surfaces are simulated using ANSYS software.The simulation data is then imported into Matlab and fitted with a polynomial method…查看全部>>
米智恺;聂凤明;黄思玲;薛枫
中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波 315103中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波 315103中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波 315103南京理工大学机械工程学院,南京 210094
机械工程
双面抛光面型预测模型实验验证
double-sided polishingsurface patternpredictive modelingexperimental validation
《强激光与粒子束》 2024 (9)
1-9,9
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