晶圆校准器误差补偿与拟合算法的研究OA北大核心CSTPCD
Research on Error Compensation and Fitting Algorithms of Wafer Alignment Calibrator
晶圆校准器作为半导体生产、检测中的重要设备,其圆心定位的精度容易受检测误差的影响,因此针对误差的补偿算法是提高晶圆校准精度的关键技术.针对检测误差中晶圆承载面倾斜影响采样精度问题,建立了晶圆倾斜后在水平面椭圆投影的物理模型,推导椭圆与晶圆圆心的解析关系,并采用相应的椭圆方程进行拟合.为了进一步提高补偿及拟合精度,提出了一种引入遗忘因子的扩展卡尔曼滤波的椭圆拟合算法,该算法采用密度聚类法及改进样本点分布的渐进一致采样进行数据预处理,并利用迭代重加权…查看全部>>
Wafer alignment calibrator plays a crucial role in semiconductor manufacturing and inspection processes.However,the accuracy of wafer center positioning can be affected by measurement errors.Consequently,the development of error compensation algorithms is paramount to refining the accuracy of wafer alignment calibrator.To address the impact of wafer carrier surface tilt on sampling accuracy,a physical model of a tilted wafer and its elliptical projection on …查看全部>>
刘暾东;陈锃琰;王若宇;唐之晨;郑鹏
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门 361102厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门 361102厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门 361102厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门 361102厦门市计量检定测试院,福建厦门 361004
几何量计量晶圆校准器误差补偿椭圆拟合顺序抽样一致性
geometric measurementwafer alignment calibratorerror compensationelliptical fittingrandom sample consensus
《计量学报》 2024 (8)
1115-1124,10
国家市场监管总局科技计划(2022MK138)
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