Ti-DLC薄膜压阻性能及载流子输运行为研究OA北大核心CSTPCD
Ti Doped Diamond Like Carbon Films:Piezoresistive Properties and Carrier Transport Behavior
围绕压阻传感器领域对高性能类金刚石(Diamond Like Carbon,DLC)薄膜压阻敏感材料的需求,针对金属掺杂DLC存在的载流子输运行为和实际多工况(如温度、湿度等)下压阻性能不明的问题,本工作以Ti-石墨复合拼接靶为靶材,采用高功率脉冲磁控溅射技术,高通量制备出 4 种Ti含量(原子分数为 0.43%～4.11%)的Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜,研究了 Ti 含量对薄膜组分结构、电学性能、变湿度环境下压阻性能的影响规律.结果表…查看全部>>
Diamond like carbon(DLC)film was a promising candidate for microelectromechanical system(MEMS)piezoresistive sensors owing to its excellent mechanical properties and sensitivity.The effects of carrier transport behavior and the role of operating conditions(such as temperature,humidity,etc.)on piezoresistive performance of metal-doped DLC were still unclear.In this work,Ti doped diamond like carbon(Ti-DLC)films with Ti atom fraction ranging from 0.43%to 4.11%…查看全部>>
赵志翰;郭鹏;魏菁;崔丽;刘山泽;张文龙;陈仁德;汪爱英
宁波大学 材料科学与化学工程学院,宁波 315211||中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,海洋关键材料重点实验室,宁波 315201中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,海洋关键材料重点实验室,宁波 315201中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,海洋关键材料重点实验室,宁波 315201中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,海洋关键材料重点实验室,宁波 315201宁波大学 材料科学与化学工程学院,宁波 315211||中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,海洋关键材料重点实验室,宁波 315201中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,海洋关键材料重点实验室,宁波 315201中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,海洋关键材料重点实验室,宁波 315201中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,海洋关键材料重点实验室,宁波 315201||中国科学院大学 材料与光电研究中心,北京 100049
化学工程
Ti掺杂类金刚石薄膜电学性能可变湿度压阻行为
Ti dopingdiamond like carbon(DLC)filmelectrical propertyvariable humiditypiezoresistive behavior
《无机材料学报》 2024 (8)
879-886,中插1-中插2,10
宁波市科技创新 2025 重大专项(2020Z023)国家自然科学基金(U20A20296,52205237)宁波市高新区重大技术创新项目(2021CCX050003) Science and Technology 2025 Innovation Project of Ningbo(2020Z023)National Natural Science Foundation of China(U20A20296,52205237)Ningbo Hi-Tech Industrial Development Zone Technological Innovation Project(2021CCX050003)
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