悬浮液等离子喷涂制备Y2O3涂层及耐等离子刻蚀性OA北大核心CSTPCD
Preparation of Y2O3 Coating by Suspension Plasma Spraying and Its Resistance to Plasma Etching
随着高端芯片竞争的白热化,Y2O3 涂层作为等离子体刻蚀工艺腔的重要组成部分,对其研究逐渐成为科研热点.利用悬浮液等离子喷涂(Suspension Plasma Spraying,SPS)在铝合金表面制备Y2O3 涂层,研究了不同工艺参数对涂层的物相组成、力学性能、显微形貌和介电强度等的影响;在 CF4/Ar/O2 氟等离子体环境中对 Y2O3 涂层分别刻蚀30、60、120 min后,分析了Y2O3 涂层微观孔隙率对刻蚀速率的影响.最优工艺 1…查看全部>>
With the fierce competition of high-end chips,Y2O3 coating is an important component of plasma etching cavity,corresponding research gradually becomes a research hotspot.Y2O3 coating was prepared on aluminum alloy surface by suspension plasma spraying(SPS).The effects of different process parameters on the phase composition,mechanical properties,microstructure,and dielectric strength of the coating were studied.The effect of microscopic porosity of Y2O3 coat…查看全部>>
马文;申喆;刘琪;高元明;白玉;李荣星
内蒙古工业大学 材料科学与工程学院,内蒙古自治区薄膜与涂层重点实验室,呼和浩特 010051||内蒙古自治区稀土新材料及功能涂层工程研究中心,呼和浩特 010051内蒙古工业大学 材料科学与工程学院,内蒙古自治区薄膜与涂层重点实验室,呼和浩特 010051||内蒙古自治区稀土新材料及功能涂层工程研究中心,呼和浩特 010051内蒙古工业大学 材料科学与工程学院,内蒙古自治区薄膜与涂层重点实验室,呼和浩特 010051||内蒙古自治区稀土新材料及功能涂层工程研究中心,呼和浩特 010051内蒙古工业大学 材料科学与工程学院,内蒙古自治区薄膜与涂层重点实验室,呼和浩特 010051||内蒙古自治区稀土新材料及功能涂层工程研究中心,呼和浩特 010051内蒙古工业大学 材料科学与工程学院,内蒙古自治区薄膜与涂层重点实验室,呼和浩特 010051||内蒙古自治区稀土新材料及功能涂层工程研究中心,呼和浩特 010051内蒙古工业大学 材料科学与工程学院,内蒙古自治区薄膜与涂层重点实验室,呼和浩特 010051||内蒙古自治区稀土新材料及功能涂层工程研究中心,呼和浩特 010051
化学工程
悬浮液等离子喷涂Y2O3 涂层孔隙率耐等离子刻蚀性
suspension plasma sprayingY2O3 coatingporosityplasma etching resistance
《无机材料学报》 2024 (8)
929-936,8
内蒙古自然科学基金(2022MS05003,2021PT0008,JY20220041)内蒙古自治区高校创新科研团队项目(NMGIRT2319) Inner Mongolia Natural Science Foundation(2022MS05003,2021PT0008,JY20220041)Inner Mongolia University Innovative Research Team Project(NMGIRT2319)
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