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稀贵金属溅射靶材及关联微电子器件制造关键技术与应用

闻明

中国科技成果2024，Vol.25Issue(16)：7-9,3.

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中国科技成果2024，Vol.25Issue(16)：7-9,3.DOI:10.3772/j.issn.1009-5659.2024.16.005

稀贵金属溅射靶材及关联微电子器件制造关键技术与应用

闻明¹

作者信息

1. 云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司||杭州立昂微电子股份有限公司||昆明贵金属研究所
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闻明..稀贵金属溅射靶材及关联微电子器件制造关键技术与应用[J].中国科技成果,2024,25(16):7-9,3.

中国科技成果

ISSN：1009-5659

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