稀贵金属溅射靶材及关联微电子器件制造关键技术与应用OA

作者：闻明

作者单位：云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司||杭州立昂微电子股份有限公司||昆明贵金属研究所

刊名：《中国科技成果》 2024 (016)

页码/页数：7-9 / 3

DOI：10.3772/j.issn.1009-5659.2024.16.005