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1500 V超结功率MOS器件优化与电容特性研究

种一宁 李珏 乔明

电子学报2024,Vol.52Issue(7):P.2271-2278,8.
电子学报2024,Vol.52Issue(7):P.2271-2278,8.DOI:10.12263/DZXB.20230845

1500 V超结功率MOS器件优化与电容特性研究

种一宁 1李珏 1乔明2

作者信息

  • 1. 电子科技大学电子薄膜与集成器件全国重点实验室,四川成都611731
  • 2. 电子科技大学电子薄膜与集成器件全国重点实验室,四川成都611731 电子科技大学广东电子信息工程研究院,广东东莞523950 电子科技大学(深圳)高等研究院,广东深圳518110
  • 折叠

摘要

关键词

超结VDMOS/元胞/击穿电压/比导通电阻/寄生电容

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

种一宁,李珏,乔明..1500 V超结功率MOS器件优化与电容特性研究[J].电子学报,2024,52(7):P.2271-2278,8.

基金项目

广东省基础与应用基础研究基金(No.2021B1515020031) (No.2021B1515020031)

国家自然科学基金(No.62174024) (No.62174024)

航空科学基金(No.201943080002)~~。 (No.201943080002)

电子学报

OA北大核心CSTPCD

0372-2112

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