科技创新与应用2024，Vol.14Issue(27)：P.90-92,96,4.DOI:10.19981/j.CN23-1581/G3.2024.27.020
铝薄膜的制备及其性能研究
杨正华 1符姣姣 1姚世鹏1
作者信息
- 1. 中国重型机械研究院股份公司,西安710018
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摘要
关键词
磁控溅射/铝薄膜/溅射功率/红外发射率/电学性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
杨正华,符姣姣,姚世鹏..铝薄膜的制备及其性能研究[J].科技创新与应用,2024,14(27):P.90-92,96,4.
