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PVT法AlN晶体生长模式调控研究

覃佐燕 金雷 李文良 谭俊 何广泽 武红磊

人工晶体学报2024，Vol.53Issue(9)：P.1542-1549,8.
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人工晶体学报2024，Vol.53Issue(9)：P.1542-1549,8.

PVT法AlN晶体生长模式调控研究

覃佐燕 1金雷 2李文良 3谭俊 3何广泽 3武红磊3

作者信息

  • 1. 深圳大学电子与信息工程学院,深圳518060
  • 2. 中国电子科技集团有限公司第四十六研究所,天津300220
  • 3. 深圳大学物理与光电工程学院,深圳518060
  • 折叠

摘要

关键词

AlN晶体/PVT法/亚晶/混合生长模式/螺旋位错驱动生长

分类

数理科学

引用本文复制引用

覃佐燕,金雷,李文良,谭俊,何广泽,武红磊..PVT法AlN晶体生长模式调控研究[J].人工晶体学报,2024,53(9):P.1542-1549,8.

基金项目

国家重点研发计划(2022YFB3605303),深圳市计划项目(JCYJ20210324093007020),国家自然科学基金(62474113),广东省重点领域研发计划项目(2020B010169003)。 （2022YFB3605303）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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