人工晶体学报2024，Vol.53Issue(9)：P.1494-1503,10.
分子束外延设备国内外进展及展望
陈峰武 1吕文利 1龚欣 1薛勇 1巩小亮1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙410111
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摘要
关键词
分子束外延设备/化合物半导体/国产化/超高真空分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈峰武,吕文利,龚欣,薛勇,巩小亮..分子束外延设备国内外进展及展望[J].人工晶体学报,2024,53(9):P.1494-1503,10.基金项目
国家重点研发计划(2022YFB3404400)。 （2022YFB3404400）
