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大束流阳极层离子源的阴极刻蚀现象及消除措施

汤诗奕 马梓淇 邹云霄 安小凯 杨东杰 刘亮亮 崔岁寒 吴忠振

物理学报2024，Vol.73Issue(18)：P.230-241,12.
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物理学报2024，Vol.73Issue(18)：P.230-241,12.DOI:10.7498/aps.73.20240494

大束流阳极层离子源的阴极刻蚀现象及消除措施

汤诗奕 1马梓淇 1邹云霄 2安小凯 1杨东杰 1刘亮亮 3崔岁寒 3吴忠振1

作者信息

  • 1. 北京大学深圳研究生院新材料学院,深圳518055
  • 2. 北京大学深圳研究生院新材料学院,深圳518055 东北林业大学家居与艺术设计学院,哈尔滨150006
  • 3. 北京大学深圳研究生院新材料学院,深圳518055 香港城市大学物理与材料科学系,中国香港999077
  • 折叠

摘要

关键词

大束流阳极层离子源/阴极刻蚀/电磁屏蔽/输出性能

分类

数理科学

引用本文复制引用

汤诗奕,马梓淇,邹云霄,安小凯,杨东杰,刘亮亮,崔岁寒,吴忠振..大束流阳极层离子源的阴极刻蚀现象及消除措施[J].物理学报,2024,73(18):P.230-241,12.

基金项目

深圳市科技计划深港联合资助项目(批准号:SGDX20201103095406024) （批准号:SGDX20201103095406024）

2022年深圳市高等院校稳定支持计划(批准号:20220810143642004) （批准号:20220810143642004）

国家自然科学基金青年科学基金(批准号:52305174) （批准号:52305174）

深圳市博士后出站科研资助经费(批准号:6700200201)资助的课题。 （批准号:6700200201）

物理学报

OA北大核心CSTPCD

1000-3290

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