安徽大学学报（自然科学版）2024，Vol.48Issue(5)：P.52-56,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-2162.2024.05.009
高k栅介质的TDDB效应
摘要
关键词
高k/栅介质/经时击穿效应/栅氧化层/HfO_(2)分类
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任康,贡佳伟,丁俊贤,王磊,李广..高k栅介质的TDDB效应[J].安徽大学学报（自然科学版）,2024,48(5):P.52-56,5.基金项目
安徽省自然科学基金资助项目(1708085ME123,2208085J16) （1708085ME123,2208085J16）
安徽大学大学生创新创业训练计划项目(X202110357011)。 （X202110357011）
