聊城大学学报（自然科学版）2024，Vol.37Issue(5)：P.76-83,8.DOI:10.19728/j.issn1672-6634.2024030010
基于飞秒激光刻写的微腔型波导马赫-曾德干涉器及其折射率传感性能研究
摘要
关键词
平面波导/飞秒激光微加工/微腔传感器/马赫-曾德干涉仪分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐堃,玄成聪,张燕青,姚一村,解艳茹..基于飞秒激光刻写的微腔型波导马赫-曾德干涉器及其折射率传感性能研究[J].聊城大学学报（自然科学版）,2024,37(5):P.76-83,8.基金项目
山东省自然科学基金项目(ZR2020F086) （ZR2020F086）
聊城大学博士科研基金项目(318052168)资助。 （318052168）
