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300 mm晶圆翘曲检测竖直装夹形变分析及验证

张逸博 孔新新 赵思泽鹏 贾金刚 蒋德怀 宋佳慧 伍洲

光学精密工程2024，Vol.32Issue(15)：P.2418-2428,11.
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光学精密工程2024，Vol.32Issue(15)：P.2418-2428,11.DOI:10.37188/OPE.20243215.2418

300 mm晶圆翘曲检测竖直装夹形变分析及验证

张逸博 1孔新新 1赵思泽鹏 1贾金刚 2蒋德怀 2宋佳慧 2伍洲1

作者信息

  • 1. 中国科学院空天信息创新研究院,北京100094 中国科学院大学光电学院,北京100094
  • 2. 中国科学院空天信息创新研究院,北京100094
  • 折叠

摘要

关键词

晶圆翘曲测量/竖直装夹/附加形变/有限元分析

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张逸博,孔新新,赵思泽鹏,贾金刚,蒋德怀,宋佳慧,伍洲..300 mm晶圆翘曲检测竖直装夹形变分析及验证[J].光学精密工程,2024,32(15):P.2418-2428,11.

基金项目

中国科学院青年创新促进会(No.2020131)。 （No.2020131）

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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